MEMS是一種微電機系統，在制備微機械結構之后，需要以電子技術進行驅動。典型的驅動機制包括靜電引力、電磁力、電致伸縮和熱電偶。在MEMS器件的所有驅動機制中，靜電引力結構因制備簡單、易于控制和低功耗，得到廣泛的應用。
可應用于MCS（多播交換光開關）
基于PLC技術及MEMS技術的多播交換光開關（MCS），是下一代可重構光分插復用系統（ROADM）的關鍵組成部分；每個功能單元由M個立的Splitter和N個立的MEMS光開關組成；提供N個上路（或下路）端口至M個方向的連接。
MEMS光開關與機械式光開關
機械光開關的工作原理是借助機械裝置物理地移動光纖來重定向光信號。通過移動棱鏡或定向耦合器，將輸入端的光導向所需要輸出的端口。機械式光開關分主要有3種類型：一是采用棱鏡切換光路技術，二是采用反射鏡切換技術，三是通過移動光纖切換光路。
MEMS光開關可應用于哪些領域
MEMS光開關及其陣列在現有光通信中的應用范圍很廣。其應用范圍主要有：光網絡的保護倒換系統，光纖測試中的光源控制、網絡性能的實時系統、光器件的測試、構建OXC設備的交換核心，光插/分復用、光學測試、光傳感系統等。
MEMS光開關是 基 于 微 機 電 系 統（micro-electro-mechanical system），采用光學微鏡或光學魏鏡陣列來改變光束的傳播方向實現光路的切換。MEMS光開關原理十分簡單，當進行光交換時，通過靜電力或磁電力的驅動，移動或改變MEMS微鏡的角度，把輸入光切換到光開關的不同輸出端以實現光路的切換及通斷。
隨著光纖通信技術的發展和密集波分復用系統的應用，光聯網已經成為網絡發展的趨勢。光聯網絡技術的實現主要依賴于光開關、光濾波器、光放大器、密集波分復用(DWDM)等器件和技術的進展。
