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殘余氣體分析儀 |
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INFICON Quantus HP100氣體分析儀基于自等離子體光發射光譜技術(SPOES),旨在提供半導體制造過程中的實時泄漏檢測、端點檢測和過程監控。Quantus HP100具有的靈敏度,外形緊湊,提供寬廣的操作壓力范圍,無需昂貴的泵,因此非常適合大多數半導體工具的過程監控和保護。
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