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JOMES |
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JOMESA雙面載物片有2個玻璃框。
玻璃框在工業清洗機中清洗,并在經過HEPA過濾的氣流中干燥。
清洗和干燥后,在7級無塵室中組裝雙面載物片。雙面載物片用兩層PE包裝。
為了確保潔凈室處理能力,先將一個PE包裝留在潔凈室外,再將其連內包裝運送到潔凈室中。
因此,運輸和紙箱包裝造成的所有污染都不會進入潔凈室。
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