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OSKAK |
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指針式 |
排氣速度
50L?min、230L?min、500L?min 3種產品
■ 極限壓力
DSP50：20Pa、DSP250 ? 500：0.5Pa
■ 潔凈排氣
沒有油蒸氣，粒子的逆流
■ 無潤滑油
無同步齒輪，也不需要潤滑油
■ 攜帶方便
小型，輕量，抗外部干擾
■ 空冷規格
不需要冷卻水
■ 初期排氣時間短
大氣壓附近排氣速度快
■ 節能
低消費電力設計
用途
?SEM，光刻
??裝載室，搬送室排氣
?分析儀器
?加速器，離子源，電子槍的排氣
?一般產業
?PVD ?R&D
| 型 號 | DSP50 | DSP250 | DSP500 | |
| 排氣速度 (L/min) | 大 | 50 | 230 | 500 |
| 開放氣鎮時 | 36 | 200 | 430 | |
| 極限壓力 (Pa) | 通常 | 20 | 0.5 | |
| 開放氣鎮時 | 200 | 2.0 | ||
| 連接形式 | 吸氣口 | KF16 | KF25 | KF40 |
| 排氣口 | Rc1 | KF25 | ||
| 所需電力 (W) | 極限壓力時 | 230 | 240 | 270 |
| 大 | 380 | 600 | ||
| 電源 | 電壓（V） | 100-240 | 100-230 | |
| 頻率（Hz） | 50/60 | |||
| 相數 | 單相 | |||
| 容許變動電壓 | ±10% | |||
| 冷卻方式 | 空冷 | |||
| 重量（kg） | 9 | 15 | 20 | |
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