膜厚測試儀，分為手持式和臺式二種，手持式又有磁感應鍍層測厚儀，電渦流鍍層測厚儀，熒光X射線儀鍍層測厚儀。手持式的磁感應原理時，利用從測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基體的磁通的大小，來測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小，來表示其覆層厚度。

臺式的熒光X射線膜厚測試儀，是通過一次X射線穿透金屬元素樣品時·產生低能量的光子，俗稱為二次熒光，,在通過計算二次熒光的能量來計算厚度值。

ASA膜測厚儀采用磁感應原理時，利用從測頭經過非鐵磁覆層而流入鐵磁基
體的磁通的大小，來測定覆層厚度。也可以測定與之對應的磁阻的大小，來表示其覆層厚度。覆層越厚，則磁阻越大，磁通越小。利用磁感應原理的測厚儀，原則上可以有導磁基體上的非導磁覆層厚度。一般要求基材導磁率在500以上。如果覆層材料也有磁性，則要求與基材的導磁率之差足夠大（如鋼上鍍鎳）。當軟芯上繞著線圈的測頭放在被測樣本上時，儀器自動輸出測試電流或測試信號。早期的產品采用指針式表頭，測量感應電動勢的大小，儀器將該信號放大后來指示覆層厚度。

高頻交流信號在測頭線圈中產生電磁場，測頭靠近導體時，就在其中形成渦流。測頭離導電基體愈近，則渦流愈大，反射阻抗也愈大。這個反饋作用量表征了測頭與導電基體之間距離的大小，也就是導電基體上非導電覆層厚度的大小。

X射線和紫外線與紅外線一樣是一種電磁波。可視光線的波長為0.000001 m （1μm）左右。
對某物質進行X射線照射時,可以觀測到主要以下3種X射線。
（1） 螢光X射線
（2） 散亂X射線
（3） 透過X射線
的產品是利用螢光X射線得到物質中的元素信息(組成和鍍層厚度)的螢光X射線法原理。和螢光X射線分析裝置一樣被使用的X射線衍射裝置是利用散亂X射線得到物質的結晶信息(構造)。而透過X射線多用于拍攝醫學透視照片。另外也用于機場的貨物檢查。象這樣根據想得到的物質信息而定X射線的種類 。

用于測定材料本身厚度或材料表面覆蓋層厚度的儀器。有些構件在制造和檢修時測量其厚度，以便了解材料的厚薄規格，各點均勻度和材料腐蝕、磨損程度；有時則要測定材料表面的覆蓋層厚度，以產品質量和生產安全。根據測定原理的不同，常用測厚儀有超聲、磁性、渦流、同位素等四種。

磁性測厚儀在測定各種導磁材料的磁阻時，測定值會因其表面非導磁覆蓋層厚度的不同而發生變化。利用這種變化即可測知覆蓋層厚度值。常用于測定鐵磁金屬表面上的噴鋁層、塑料層、電鍍層、磷化層、油漆層等的厚度。

渦流測厚儀當載有高頻電流的探頭線圈置于被測金屬表面時，由于高頻磁場的作用而使金屬體內產生渦流，此渦流產生的磁場又反作用于探頭線圈，使其阻抗發生變化，此變化量與探頭線圈離金屬表面的距離（即覆蓋層的厚度）有關，因而根據探頭線圈阻抗的變化可間接測量金屬表面覆蓋層的厚度。常用于測定鋁材上的氧化膜或鋁、銅表面上其他絕緣覆蓋層的厚度。

超聲波測厚儀是根據超聲波脈沖反射原理來進行厚度測量的，當探頭發射的超聲波脈沖通過被測物體到達材料分界面時，脈沖被反射回探頭，通過測量超聲波在材料中傳播的時間來確定被測材料的厚度。凡能使超聲波以一恒定速度在其內部傳播的各種材料均可采用此原理測量。