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在基礎學科研究中,傳感器更具有的地位。現代科學技術的發展,進入了許多新領域:例如在宏觀上要觀察上千光年的茫茫宇宙,微觀上要觀察小到fm的粒子世界,縱向上要觀察長達數十萬年的天體演化,短到 s的瞬間反應。
由此可見,傳感器技術在發展經濟、推動社會進步方面的重要作用,是十分明顯的。都十分重視這一領域的發展。相信不久的將來,傳感器技術將會出現一個飛躍,達到與其重要地位相稱的新水平。
傳感器的特點包括:微型化、數字化、智能化、多功能化、系統化、網絡化,它不僅促進了傳統產業的改造和更新換代,而且還可能建立新型工業,從而成為21世紀新的經濟增長點。微型化是建立在微電子機械系統(MEMS)技術基礎上的,已成功應用在硅器件上做成硅壓力傳感器。
常將傳感器的功能與人類5大感覺器官相比擬: 光敏傳感器——視覺 聲敏傳感器——聽覺 氣敏傳感器——嗅覺 化學傳感器——味覺 傳感器(圖1) 傳感器(圖1) 壓敏、溫敏、流體傳感器——觸覺 敏感元件的分類: 物理類,基于力、熱、光、電、磁和聲等物理效應。 化學類,基于化學反應的原理。 生物類,基于酶、抗體、和激素等分子識別功能。
廣泛應用于露點儀、電力設備、物聯網設備、航空航天連接器,煤炭開采和石油勘探設備,實現數據的采集和傳輸。 技術性能: 1.常溫常壓下,泄漏率≤1*10 -9 Pa.m 3 /s(He); 2.絕緣電阻大于1000MΩ/500VDC(500伏,1000兆歐); 3.玻璃絕緣子與底座間耐壓強度大于300MPa 4.良好的焊接性能。
用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測量壓力和速度的固態壓阻式傳感器應用為普遍。